单机实现三大基本特征分析功能的吉时利超快C-V测量系统

吉时利仪器公司推出最新的4225-PMU超快I-V测试模块，进一步丰富了4200-SCS半导体特征分析系统的可选仪器系列。它在4200-SCS已有的强大测试环境中集成了超快的电压波形发生和电流/电压测量功能，实现了更宽的电压、电流和上升/下降/脉冲时间动态量程，大大提高了系统对新材料、器件和工艺进行特征分析的能力。同样重要的是，利用4225-PMU可以像进行直流测量那样，轻松实现超快的I-V源和测量操作。其很宽的可编程源与测量量程、脉宽和上升时间使得它非常适合于既需要超快电压输出又需要同步测量的应用——从纳米CMOS到闪存。

与之前需要多达三种不同测试台才能对器件、材料或工艺进行充分特征分析的方案不同的是，4225-PMU凭借其很宽的动态量程，只需一套仪器即可完成对材料、器件和工艺的全方位特征分析。目前，实验室配置一套灵活的系统就可以处理所有三类测量操作：精密直流I-V测试（4200-SMU）、交流阻抗（4210-CVU C-V仪器）和超快I-V或瞬态I-V测试（4225-PMU）。

每个4225-PMU模块提供了两个通道的集成式源和测量功能，但仅占用九槽机架中的一个插槽。每个机架最多可安装四个这样的模块，实现最高8个超快的源/测量通道。每个通道兼具高速电压输出（脉宽范围从60ns到直流）和同步电流与电压测量两大功能。这种模块实现了高速电压脉冲和同步电流与电压测量功能，采集速率高达200兆次采样/秒（MS/s），具有14位模-数转换器（A/D），每个通道采用了两个A/D（每卡四个A/D）。用户可以选择两种电压源量程（1MΩ输入±10V和±40V）以及四种电流量程（800mA、200mA、10mA、100mA）。

每个4225-PMU模块可以配置多达两个可选的4225-RPM远程放大器/开关，从而提供了四种额外的低电流量程。它们还有助于减少线电容效应，并且支持在4225-PMU、4210-CVU和机架中安装的其他SMU之间自动切换。另外还有可选的4220-PGU脉冲发生器，它是仅仅支持电压源功能的4225-PMU替代品。

4225-PMU和4225-RPM结合在一起能够实现其它单台仪器无法实现的多种应用所必需的工具功能。其中一些主要应用包括；通用超快I-V测量、CMOS器件特征分析、非易失性存储器测试、化合物半导体器件与材料的特征分析及NBTI/PBTI可靠性测试。