三菱电机热敏二极管红外传感器发售

使用人工卫星搭载的传感器技术，实现高精度地识别人、物，并能把握其行为

三菱电机株式会社将于11月1日发售热敏二极管红外传感器，该产品能够做到高精度识别人员和物体并理解其行为，可用于犯罪预防系统、空调设备、智能建筑系统以及人数统计系统等众多领域。

本产品运用了由我公司负责设计制造的陆域观测技术卫星“大地2号”^※1所搭载的热敏二极管红外传感器技术，实现了高像素和高热灵敏度^※2，能够获得较为清晰的热成像。

※1　三菱电机作为总承包商，受日本宇宙航空研究开发机构（JAXA）委托制造的地球观测卫星。
2014年5月24日发射升空，目前在轨运行
※2　热灵敏度：可分辨的最小温度差异

热敏二极管红外传感器

新产品的特点

1．高像素和高热灵敏度，实现高精度地识别人、物，并能把握其行为

・运用“大地2号”^※1上搭载的热敏二极管红外传感器技术，与传统产品相比，像素成功提高到了10倍^※3（80×32像素），热灵敏度成功提高到了5倍^※3（100mK^※4）

・利用高像素和高热灵敏度，能够获得较为清晰的热成像，可以识别人、物，并能把握人的行走、跑步和举手等行为

※3　与市场一般采用的16×16像素热电堆相比
※4　mK：毫开

2．采用芯片级真空封装技术，有利于节省空间

・通过采用独家开发的芯片级真空封装技术^※5，无需使用以往真空封装所需的陶瓷封装，即可在真空状态下工作

・利用新型封装技术，产品尺寸与传统产品相比缩小了大约80%^※4，实现了小型化，有利于节约空间

※5　一种可做到与芯片尺寸同等程度的封装技术

发售概要

销售目标

通过接收所有物体在不同温度下发出的红外线，并转换为电气信号，从而进行温度测量等功用的红外线传感器已经应用于预防犯罪、空调设备、智能建筑系统和人数统计系统等众多领域，近年来，随着人员和物体识别以及行为辨别领域需求的提高，人们要求其具备高像素和高热灵敏度。

我公司此次将发售热敏二极管红外传感器。该产品运用了陆域观测技术卫星“大地2号”上搭载的地球观测用小型红外摄像头CIRC^※6上使用的红外线传感器技术，成功实现了高像素（80×32像素）、高热灵敏度（100mK），能够以更高的精确度获得包括人和物体的详细温度信息在内的热成像，有助于识别和行为捕捉。

※6　Compact InfraRedCamera

特点的详细信息

1．高像素和高热灵敏度，实现高精度地识别人、物，并能把握其行为

・热敏二极管接收红外线，并以高精度进行温度计算，需要增加单位面积内的像素数量。(图1)热敏二极管红外线传感器像素部分使用半导体工艺进行支撑脚成型，实现了细线化加工。(图2)据此，成功做到了像素小型化，增加了单位面积内的像素数量，成功实现了高像素（80×32像素），为传统产品的10倍。

・热敏二极管和高性能放大器成型于同一基板内，由于热敏二极管和高性能放大器的距离缩短，因距离产生的电磁噪声降低到了最低程度。据此，能够减少电磁噪声引起的精度劣化，实现了高热灵敏度（100mK），为传统产品的5倍，成功实现了以0.1℃为单位的温度分析。

・借由高像素和提高热灵敏度，可获得详细的热图像，可识别人、物，并能把握人的行走、跑步、举手等行为（图3）

2．采用芯片级真空封装技术，有利于节省空间

・热敏二极管接收红外线，并以高精度进行温度计算，需要在真空下工作，减少通过气体进行的散热。为此，本产品采用了图2所示的芯片级真空封装技术。借助晶圆一次成型进行真空封装，无需使用以往进行真空封装所需的陶瓷封装，即可使传感器像素在真空状态下工作。产品尺寸与传统产品相比缩小了80%（19.5×13.5×9.5mm³），有利于实现小型化并节省空间。

主要规格